超高真空系统密封连接常用的是国标超高真空法兰,采用刀口密封结构和无氧铜平垫圈，可以满足超高真空密封，应用技术较为成熟。超高真空法兰一般采用不锈钢制造，其强度硬度均能满足密封要求，且不锈钢生产制造技术成熟，应用广泛。

本标准规定了内焊型、松套型、盲型超高真空法兰（以下简称法兰）和铜密封垫的型式、尺寸及技术要求。   

本标准适用于超高真空系统中公称通径为16mm～250mm用铜垫密封的不锈钢法兰及铜密封垫。

标准参数内容如下：